看完這個(gè)雙級(jí)旋片真空泵工作原理的解讀讓你分分鐘漲知識(shí)
瀏覽次數(shù)：2951發(fā)布日期：2021-03-31
雙級(jí)旋片真空泵由兩個(gè)工作室組成。前級(jí)泵是低真空級(jí)(又叫一級(jí)，低級(jí))，后級(jí)泵是高真空級(jí)(又叫第二級(jí)，高級(jí))，被抽氣體經(jīng)后級(jí)進(jìn)入前級(jí)，由排氣閥排出泵外。前、后兩級(jí)稍有不同:后級(jí)的泵腔(缸)比前級(jí)大，前級(jí)和單極泵一樣，隨時(shí)有油進(jìn)入泵腔，而后級(jí)僅在開始工作時(shí)存有少量的油，工作一段時(shí)間后，便沒有油進(jìn)入泵腔了。后級(jí)工作時(shí)，一部分氣體從后排氣閥直接排到大氣中去，一部分氣體經(jīng)由前級(jí)泵排到大氣中去;工作一段時(shí)間后，后級(jí)泵里的氣體經(jīng)過壓縮后，壓強(qiáng)達(dá)不到一個(gè)大氣壓以上，推不開后排氣閥，這些氣體就*從前級(jí)排出去。
抽氣時(shí)間一長，后級(jí)泵進(jìn)氣口的壓強(qiáng)大大下降，泵的出口壓強(qiáng)也很小，進(jìn)出口的壓強(qiáng)差也就小，被壓縮氣體返回的數(shù)量相應(yīng)減少多同時(shí)，后級(jí)泵中易蒸發(fā)的油分子不斷被前級(jí)泵抽走，油蒸氣的分壓強(qiáng)因而就減小了。這樣可以提高泵的極限真空度.而油污染也比單級(jí)泵小。
第I室和第五室旋片的安裝位置是互相垂直的。因此，保證一級(jí)排氣時(shí)第二級(jí)正好是抽氣，使它們能同步地工作。
當(dāng)雙級(jí)旋片真空泵工作一段時(shí)間后，II室吸入的氣體壓力較低時(shí)，雖經(jīng)II室的壓縮，壓力也達(dá)不到一個(gè)大氣壓以上，排不開輔助排氣閥(1)，則吸入的氣體全部進(jìn)入前級(jí)A室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥(1)排出。
雙級(jí)旋片真空泵工作一段時(shí)間后，由于高真空級(jí)進(jìn)氣時(shí)壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣II室進(jìn)出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數(shù)量也相應(yīng)減少;同時(shí)，后級(jí)泵中易蒸發(fā)的油分子不斷被前級(jí)I室抽走，油蒸氣的分壓減少了，因而雙級(jí)泵的油污染比單級(jí)小，極限真空度將大大提高。國前的雙級(jí)旋片真空泵的極限真空度可10-2Pa，國外有的泵可達(dá)到10-3Pa。
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